四探針電阻測(cè)試儀是一種用于測(cè)量物質(zhì)電阻率、電阻及方塊電阻的專(zhuān)業(yè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、薄層材料檢測(cè)以及化工、建材等行業(yè)。它基于四探針接觸法設(shè)計(jì)，通過(guò)外側(cè)兩探針施加穩(wěn)定電流，內(nèi)側(cè)兩探針測(cè)量電勢(shì)差，實(shí)現(xiàn)電流-電壓分離測(cè)量，有效消除接觸電阻和引線(xiàn)電阻的干擾，確保測(cè)量結(jié)果的高精度。

　　該儀器適配多種樣品形態(tài)，包括塊狀、棒狀及薄膜材料，測(cè)量范圍覆蓋電阻率10??～10?Ω·cm，標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤2%。其硬件配置先進(jìn)，采用液晶顯示屏與自動(dòng)溫度補(bǔ)償系統(tǒng)，二代機(jī)型配備自動(dòng)傳感測(cè)試架，減少探針與樣品接觸損傷。內(nèi)置計(jì)算機(jī)可自動(dòng)調(diào)整系數(shù)，通過(guò)接口實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與導(dǎo)出，提升操作便捷性。

　　四探針電阻測(cè)試儀的保養(yǎng)方法：

　　一、日常保養(yǎng)（每次使用前后）

　　清潔探針

　　目的：去除探針尖d的氧化物、油污、灰塵或殘留樣品，防止接觸不良和測(cè)量誤差。

　　方法：

　　使用無(wú)水乙醇（分析純）或異丙醇浸濕無(wú)塵布或棉簽，輕輕擦拭四個(gè)探針的尖d。

　　對(duì)于頑固污染物，可使用極細(xì)的研磨紙（如金相砂紙，粒度≥1000#）極其輕微地打磨探針尖d，然后用酒精徹d清潔。（此操作需謹(jǐn)慎，避免改變探針形狀或間距）

　　嚴(yán)禁使用硬物刮擦或腐蝕性溶劑。

　　清潔樣品臺(tái)

　　用干凈的無(wú)塵布或蘸有無(wú)水乙醇的棉簽擦拭樣品臺(tái)表面，確保無(wú)灰塵、油漬或?qū)щ姎埩粑铮苊庥绊憸y(cè)量或造成短路。

　　檢查探針狀態(tài)

　　目視檢查四個(gè)探針是否筆直、無(wú)彎曲、無(wú)斷裂。

　　確認(rèn)探針尖d銳利但不過(guò)分鋒利（避免劃傷樣品），無(wú)嚴(yán)重磨損或變形。

　　檢查探針間距是否一致（可用放大鏡觀(guān)察）。

　　檢查加載機(jī)構(gòu)

　　手動(dòng)升降探針數(shù)次，感受是否有卡頓或松動(dòng)。

　　確保恒力彈簧或壓力調(diào)節(jié)裝置工作正常，探針能平穩(wěn)下落并保持穩(wěn)定接觸壓力。

　　二、定期保養(yǎng)（每周/每月）

　　深度清潔

　　斷開(kāi)電源，用壓縮空氣（低氣壓）吹掃探針支架、樣品臺(tái)及周?chē)鷧^(qū)域，清除積聚的細(xì)小顆粒。

　　檢查并清潔探針與線(xiàn)纜的連接點(diǎn)，確保接觸良好。

　　校準(zhǔn)驗(yàn)證

　　使用標(biāo)準(zhǔn)樣片（已知電阻率或方塊電阻的標(biāo)準(zhǔn)硅片或薄膜電阻片）進(jìn)行測(cè)量。

　　將測(cè)量結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)值對(duì)比，評(píng)估儀器的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。

　　如果偏差超出允許范圍（如±5%），需要進(jìn)行校準(zhǔn)或維修。

　　檢查線(xiàn)纜與接口

　　檢查所有連接線(xiàn)纜（探針線(xiàn)、電源線(xiàn)）是否有破損、擠壓或接觸不良。

　　確保各接口（如USB、RS232）清潔、牢固。

　　三、長(zhǎng)期/專(zhuān)業(yè)保養(yǎng)（每季度/半年/年度）

　　探針更換

　　當(dāng)探針出現(xiàn)嚴(yán)重磨損、彎曲、斷裂或無(wú)法通過(guò)清潔恢復(fù)性能時(shí)，必須更換。

　　務(wù)必使用原廠(chǎng)或規(guī)格完q匹配的探針，確保材質(zhì)、直徑、長(zhǎng)度和間距一致。

　　更換后需重新進(jìn)行校準(zhǔn)驗(yàn)證。

　　機(jī)械結(jié)構(gòu)維護(hù)

　　對(duì)升降導(dǎo)軌、軸承等運(yùn)動(dòng)部件進(jìn)行潤(rùn)滑（使用專(zhuān)用精密儀器潤(rùn)滑油，避免過(guò)量）。

　　檢查并緊固所有螺絲和固定件，防止松動(dòng)影響探針垂直度。

　　電氣系統(tǒng)檢查

　　由專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員檢查恒流源的穩(wěn)定性、電壓表的精度以及內(nèi)部電路板狀態(tài)。

　　必要時(shí)進(jìn)行專(zhuān)業(yè)校準(zhǔn)（traceable calibration），確保符合計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)。

　　軟件與固件更新

　　檢查制造商是否有發(fā)布新的控制軟件或固件更新，以提升性能或修復(fù)已知問(wèn)題。

　　四、通用注意事項(xiàng)與存放

　　輕拿輕放：避免劇烈震動(dòng)或撞擊，尤其是探針部分非常脆弱。

　　環(huán)境要求：

　　存放和使用環(huán)境應(yīng)干燥、清潔、無(wú)腐蝕性氣體。

　　避免陽(yáng)光直射和溫度劇烈變化。

　　理想溫濕度：室溫（20-25°C），相對(duì)濕度<60%。

　　防塵保護(hù)：

　　不使用時(shí)，用防塵罩覆蓋儀器，或存放在專(zhuān)用儀器柜中。

　　可在儀器內(nèi)放置干燥劑，防潮。

　　正確操作：

　　測(cè)量時(shí)確保樣品表面平整、清潔、干燥。

　　探針應(yīng)垂直下落，避免側(cè)向受力。

　　避免在通電狀態(tài)下插拔探針線(xiàn)纜。

　　記錄保養(yǎng)日志：

　　建立設(shè)備保養(yǎng)檔案，記錄每次清潔、校準(zhǔn)、更換部件的日期和內(nèi)容。